X射线光电子能谱（X-ray photoelectron Spectrometry, XPS），也被称为化学分析电子能谱（ESCA）。基于光电效应原理，利用X射线照射样品表面，激发原子内层能级电子跃迁，逃逸出样品表面。由于光电子携带样品的特征信息（元素信息、化学态信息等），通过测量逃逸电子的动能，计算出该电子在原子中的结合能，进而获得样品中的元素组成和化学态信息。

主机配置

（1）双聚焦半球型能量分析器

（2）多元输入透镜

（3）128道探测器

（4）微聚焦单色化X光光源

（5）低能电子/离子的中和源

（6）氩离子源

（7）高性能彩色光学系统

（8）4轴样品台

（9）自动化样品传输机械控制系统

（10）内置烘烤系统

（11）角分辨XPS用倾斜模块

主要性能指标

（1）最佳空间分辨率：< 30 µm

（2）最佳能量分辨率：< 0.5 eV FWHM

（3）光斑大小：30~400 µm可调

（4）测试元素：Li(3) ~U(92)

（5）绝缘样品的XPS：C1s能量分辨率< 0.85 Ev，灵敏度8 kcps

（6）离子源：能量范围100 eV至4 keV；最大束流4 µA；离子能量3 keV, 束流 3.5 µA, 束斑 < 500 µm；离子能量200 eV, 束流 1.0 µA, 束斑 < 1000 µm

（7）真空系统性能：分析室最佳真空5×10^-9 mbar