1、主机配置：

透镜内具有二次电子和背散电子模式的TLD电子探测器(In-lens Detector TLD-with SE and BSED Modes；

样品室内二次电子探测器(Secondary Electron Detector);

ICD和MD镜筒内探测器(Set of two In-column Dtectors(MD+ICD));

可伸缩性定向背散射探测器(Retractable DBS Detector);

一体化纳米机械手(Easy Lift EX Nano Manipulator);

C气体沉积(Carbon Deposition);

W气体沉积(Tungsten Deposition);

快速进样装置(Quick Loader);

快速进样装置STEM样品台(Quick Loader Compatible STEM Holder);

冷台(CryoMAT);

第五代自动透射电镜样品制备软件(Auto TEM 5);

第四代连续自动切片与观察软件(Auto Slice and View 4);

自动大面积拼图软件(Maps 3 for SEM)。

2、配套牛津探头：

牛津ULTIM Max100能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer)：

大面积分析型探测器ULTIM Max100;

100mm²超大面积活区；

分辨率优于127eV;

分析元素范围：Be(40-Cf(98);

（2）牛津Aztec Symmetry Ⅱ电子背散射衍射仪(Electron Backscatter Diffractometer)

快速高灵敏CMOS相机(Fast & High Sensitive COMS Camera );

多任务设计(Multi Task Design)

自动校准和背景扣除(Auto Calibration & Background Removal) ;

EDS/EBSD软件一体化(Aztec Synergy)。

3、主要性能指标：

（1）离子束：

离子源：液态Ga离子源；

加速电压： 500V~30 kV；

束流强度：1pA~100nA；

束流密度：最大值可达60A/cm2；

交叉点分辨率≤ 4.0nm @ 30kV (采用Multi-edge平均值法测量)，≤ 2.5nm @ 30kV (采用selective edge最佳值法测量)；

（2）电子束：

电子枪类型：肖特基（ZrO/W）场发射灯丝

分辨率：在最佳工作距离：≤ 0.6nm @ 15kV；≤ 1.0nm @ 1kV(非减速模式)；0.9nm@1kV(减速模式)；束交叉点分辨率≤ 0.6nm @ 15kV；≤ 2.5nm @ 1kV；

加速电压：200V~30KV；

束流强度：0.8pA－176nA。

（3）样品台

五轴马达驱动样品台；

样品室红外CCD相机；

X、Y方向移动范围不低于110mm；

方向移动范围不低于65mm，可绕Z轴旋转任意角度 (360度)；

倾角范围包含 -15至90度；

最大样品直径不小于150mm。

（4）纳米机械手

漂移：<50 nm / min；

最小步长：100 nm；

振动<15 nm；

全方向重复精度：<+/- 500 nm。