其二次电子模式和背散射模式都可对样品进行成像观察。背散射模式分辨率虽低于二次电子模式，但其可在一定程度上反应样品表面成分信息，即背散射模式下原子序数越高，表现出样品越亮。扫描电镜配备的能谱可对样品表面进行元素分析，而且检测分析速度快，具备点、线、面扫的多种模式选择。飞纳台式扫描电镜具有操作简单、调试简单、能快速上手操作的特点。其光学电子双窗口导航，更是便于在样品上直接进行定位分析。

仪器参数：

电子枪加速电压： 5kV-20kV连续可调

每次换样，抽真空时间小于15s；开始载样到成像时间30s，软件自动对中

电子放大优于80-100,000倍

分辨率优于15nm

能谱探测器晶体活性面积：30mm²

能量分辨率：<132eV（Mn Kα）

元素探测范围：Be(4)-U(92)

最大计数率：优于1000,000CPS

样品要求：非生物样品，无挥发性，无磁性